| http://dbpedia.org/ontology/abstract
|
Die Öldiffusionspumpe ist eine Hochvakuump … Die Öldiffusionspumpe ist eine Hochvakuumpumpe, die nach dem Prinzip einer Strahlpumpe funktioniert. Sie hat keine beweglichen Teile und ist daher sehr zuverlässig und wartungsfreundlich. Sie ist eine Weiterentwicklung der von Wolfgang Gaede 1916 vorgestellten Diffusionspumpe mit Quecksilber als Treibmittel.ionspumpe mit Quecksilber als Treibmittel.
, Pompa dyfuzyjna - rodzaj pompy próżniowej, … Pompa dyfuzyjna - rodzaj pompy próżniowej, w której strumień czynnika pompującego (specjalnego oleju lub rtęci) wskutek m.in. zjawiska dyfuzji porywa ze sobą cząsteczki gazu przenosząc je z obszaru próżni wysokiej (z obszaru pompowanego) do obszaru próżni wstępnej.u pompowanego) do obszaru próżni wstępnej.
, Дифузі́йний насо́с (дифузі́йна по́мпа) або … Дифузі́йний насо́с (дифузі́йна по́мпа) або дифузі́йний ва́куумний насо́с (дифузі́йна ва́куумна по́мпа) (англ. diffusion pump) — пароструменевий високовакуумний насос, у якому захоплювання газу струменем відбувається за рахунок дифузії газу в струмінь пари робочої речовини (ртуть, вакуумна олива). робочої речовини (ртуть, вакуумна олива).
, La pompa a diffusione è una pompa per alto … La pompa a diffusione è una pompa per alto vuoto priva di parti in movimento, essa è in grado di generare una pressione inferiore a 10-5 mbar, il suo funzionamento è basato sulla diffusione dei vapori di un olio a bassissima tensione di vapore (in genere ).La pompa è costituita da un recipiente inferiore (fornello), che contiene l'olio e il sistema di riscaldamento, dal quale si diparte un condotto verticale che termina con una serie di ugelli rivolti verso il basso; il tutto è contenuto in un recipiente collegato con la camera dove si deve fare il vuoto e con una pompa ausiliaria a medio vuoto (10-1 mbar).I vapori di olio salgono nel condotto e fuoriescono ad alta velocità dagli ugelli, trascinando le molecole di gas verso la zona del fornello, dove queste sono aspirate dalla pompa ausiliaria. I condotti di collegamento con la camera e con la pompa ausiliaria sono muniti di diaframmi e raffreddati, così da far condensare i vapori d'olio evitandone la fuoriuscita.Le pompe a diffusione sono affidabili e richiedono una manutenzione assai limitata.ichiedono una manutenzione assai limitata.
, Une pompe à diffusion est une pompe de tra … Une pompe à diffusion est une pompe de transfert cinétique à fluide moteur. Elle se compose d'un corps de pompe refroidi par une circulation d'eau à l'intérieur duquel sont placés des cônes formant des tuyères à leur partie supérieure. Le fluide moteur (généralement une huile de silicone) est situé dans la partie inférieure de l'appareil. Une résistance chauffante permet de vaporiser le fluide. La vapeur monte axialement et sort dans la partie supérieure des cônes sous forme de jets supersoniques dirigés vers le bas et dans lequel diffusent les gaz de l'enceinte à vide. En arrivant au contact des parois refroidies, les jets formés des gaz pompés et de la vapeur d'huile sont fractionnés : l'huile se condense et retombe dans la chaudière, alors que les gaz se trouvent à la partie inférieure de la pompe au niveau d'un ajutage où ils sont repris par une pompe primaire (pompe à palettes qui les refoule à l'extérieur). Une pompe à diffusion ne peut pomper que dans une enceinte ou règne une pression inférieure à une pression appelée pression d'amorçage. Elle ne peut refouler les gaz que dans une canalisation où la pression est inférieure à une pression appelée pression maximale de refoulement. C'est pour ces deux raisons que l'on associe une pompe à palettes à une pompe à diffusion. Parallèlement à la diffusion de l'air de l'enceinte dans l'huile de la pompe à diffusion, il y a diffusion de la vapeur d'huile vers l'enceinte, c'est la rétrodiffusion. Cette rétrodiffusion, et la pression de vapeur d'huile qui en résulte, peuvent être limitées par la présence de baffles réfrigérés et par le choix d'une huile à faible tension de vapeur à la température du baffle.
* Portail de la physiqueature du baffle.
* Portail de la physique
, Uma bombas de difusão usa um jato de vapor … Uma bombas de difusão usa um jato de vapor de alta velocidade para direcionar moléculas de gás na garganta da bomba para baixo e para fora pelo exaustor. Apresentada em 1915 por Wolfgang Gaede e usando vapor de mercúrio, foi o primeiro tipo de bomba de alto vácuo operando no regime de , onde o movimento das moléculas do gás podem ser melhor entendidos como difusão que uma dinâmica de fluidos convencional. Gaede usou o nome bomba de difusão devido a seu projeto ser baseado na constatação de que o gás não pode difundir-se contra a corrente de vapor, mas o fará com ela para a exaustão. Entretanto, o princípio de operação pode ser mais precisamente descrito como bomba de jato de gás, dado que a difusão desempenha um papel também em outras bombas de alto vácuo. Em livros textos modernos, a bomba de difusão é categorizada como uma bomba de transferência de momento. A bomba de difusão é largamente usada tanto em aplicações industriais como em pesquisa. Bombas de difusão mais modernas usam como fluido de trabalho. Cecil Reginald Burch descobriu a possibilidade de usar-se óleo de silicone em 1928.idade de usar-se óleo de silicone em 1928.
, 拡散ポンプ（かくさんポンプ、英語: diffusion pump）は、半導体製造・加 … 拡散ポンプ（かくさんポンプ、英語: diffusion pump）は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略されることもある。 下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オイル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10−3から10−7 Pa（10−5から10−9 Torr）程度の真空を作り出すことができる。また、コールドトラップ（液体窒素トラップが普通）を併用してチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気速度の向上につながる。 拡散オイルは循環させて使用し、使用状況にもよるが半年から数年に一度は交換が必要である。拡散オイルは少なすぎると焦げつくので、注入する量には注意が必要である。ヒ素などの有毒物質を使った場合、拡散オイルにそれらが蓄積しているため、交換後の拡散オイルは産業廃棄物として処理する。 背圧との両方に厳しい圧力制限があり、補助ポンプは必須である。排気側の背圧が高くなりを超えると、真空チャンバー側に拡散オイル蒸気が漏れ出すオイルバックを引き起こす。吸気側も、最大動作圧力を超えないよう先にチャンバーを大気圧から粗引きしておく必要がある。 メンテナンスはユーザが行うことができ、能力の割に安価なので広く使われている。頻繁にコールドトラップへの液体窒素補充の必要があるのが難点。なので広く使われている。頻繁にコールドトラップへの液体窒素補充の必要があるのが難点。
, Diffusion pumps use a high speed jet of va … Diffusion pumps use a high speed jet of vapor to direct gas molecules in the pump throat down into the bottom of the pump and out the exhaust. They were the first type of high vacuum pumps operating in the regime of free molecular flow, where the movement of the gas molecules can be better understood as diffusion than by conventional fluid dynamics. Invented in 1915 by Wolfgang Gaede, he named it a diffusion pump since his design was based on the finding that gas cannot diffuse against the vapor stream, but will be carried with it to the exhaust. However, the principle of operation might be more precisely described as gas-jet pump, since diffusion plays a role also in other high vacuum pumps. In modern textbooks, the diffusion pump is categorized as a momentum transfer pump. The diffusion pump is widely used in both industrial and research applications. Most modern diffusion pumps use silicone oil or polyphenyl ethers as the working fluid.or polyphenyl ethers as the working fluid.
|
| http://dbpedia.org/ontology/thumbnail
|
http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/M6_Diffusion_Pump.jpg?width=300 +
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageExternalLink
|
http://www.public.asu.edu/~aomdw/GLASS/DIFFUSION_PUMP.html +
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageID
|
8293
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageLength
|
10043
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageRevisionID
|
1120594102
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageWikiLink
|
http://dbpedia.org/resource/Polyphenyl_ether +
, http://dbpedia.org/resource/Mercury_%28element%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Turbomolecular_pump +
, http://dbpedia.org/resource/Laminar_flow +
, http://dbpedia.org/resource/Molecule +
, http://dbpedia.org/resource/Leybold_GmbH +
, http://dbpedia.org/resource/Supersonic +
, http://dbpedia.org/resource/Free_molecular_flow +
, http://dbpedia.org/resource/Sprengel_pump +
, http://dbpedia.org/resource/Silicone_oil +
, http://dbpedia.org/resource/Fluid_dynamics +
, http://dbpedia.org/resource/Baffle_%28heat_transfer%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Methyl_group +
, http://dbpedia.org/resource/Hydrocarbon +
, http://dbpedia.org/resource/Aspirator_%28pump%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Distillation +
, http://dbpedia.org/resource/Freeze-drying +
, http://dbpedia.org/resource/Cold_trap +
, http://dbpedia.org/resource/Wolfgang_Gaede +
, http://dbpedia.org/resource/Dow_Corning +
, http://dbpedia.org/resource/Convection +
, http://dbpedia.org/resource/Holweck_pump +
, http://dbpedia.org/resource/Vacuum_pump +
, http://dbpedia.org/resource/Cryopump +
, http://dbpedia.org/resource/Diffusion +
, http://dbpedia.org/resource/Condenser_%28steam_turbine%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Positive_displacement_vacuum_pump +
, http://dbpedia.org/resource/Category:Vacuum_pumps +
, http://dbpedia.org/resource/Cecil_Reginald_Burch +
, http://dbpedia.org/resource/Vapor_pressure +
, http://dbpedia.org/resource/Phenyl_group +
, http://dbpedia.org/resource/File:M6_Diffusion_Pump.jpg +
, http://dbpedia.org/resource/File:Ulvac_oil_diffusion_pump_ULK-04_cutaway.JPG +
, http://dbpedia.org/resource/File:Diffusion_pump_schematic.svg +
, http://dbpedia.org/resource/File:Langmuir_mercury_diffusion_pump.jpg +
, http://dbpedia.org/resource/File:Calutron_diffusion_pumps.jpg +
, http://dbpedia.org/resource/File:DP_pumping_speed_plot.png +
, http://dbpedia.org/resource/Irving_Langmuir +
|
| http://dbpedia.org/property/wikiPageUsesTemplate
|
http://dbpedia.org/resource/Template:Cite_book +
, http://dbpedia.org/resource/Template:Main +
, http://dbpedia.org/resource/Template:Convert +
, http://dbpedia.org/resource/Template:See_also +
, http://dbpedia.org/resource/Template:Reflist +
|
| http://purl.org/dc/terms/subject
|
http://dbpedia.org/resource/Category:Vacuum_pumps +
|
| http://www.w3.org/ns/prov#wasDerivedFrom
|
http://en.wikipedia.org/wiki/Diffusion_pump?oldid=1120594102&ns=0 +
|
| http://xmlns.com/foaf/0.1/depiction
|
http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Ulvac_oil_diffusion_pump_ULK-04_cutaway.jpg +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Langmuir_mercury_diffusion_pump.jpg +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/M6_Diffusion_Pump.jpg +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/DP_pumping_speed_plot.png +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Calutron_diffusion_pumps.jpg +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Diffusion_pump_schematic.svg +
|
| http://xmlns.com/foaf/0.1/isPrimaryTopicOf
|
http://en.wikipedia.org/wiki/Diffusion_pump +
|
| owl:sameAs |
http://he.dbpedia.org/resource/%D7%9E%D7%A9%D7%90%D7%91%D7%AA_%D7%93%D7%99%D7%A4%D7%95%D7%96%D7%99%D7%94 +
, http://de.dbpedia.org/resource/%C3%96ldiffusionspumpe +
, http://rdf.freebase.com/ns/m.029nz +
, https://global.dbpedia.org/id/2koJc +
, http://it.dbpedia.org/resource/Pompa_a_diffusione +
, http://fa.dbpedia.org/resource/%D9%BE%D9%85%D9%BE_%D8%A7%D9%86%D8%AA%D8%B4%D8%A7%D8%B1_%D8%B1%D9%88%D8%BA%D9%86 +
, http://pl.dbpedia.org/resource/Pompa_dyfuzyjna +
, http://dbpedia.org/resource/Diffusion_pump +
, http://pt.dbpedia.org/resource/Bomba_de_difus%C3%A3o +
, http://uk.dbpedia.org/resource/%D0%94%D0%B8%D1%84%D1%83%D0%B7%D1%96%D0%B9%D0%BD%D0%B8%D0%B9_%D0%BD%D0%B0%D1%81%D0%BE%D1%81 +
, http://hr.dbpedia.org/resource/Difuzijska_pumpa +
, http://ja.dbpedia.org/resource/%E6%8B%A1%E6%95%A3%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97 +
, http://www.wikidata.org/entity/Q296893 +
, http://fr.dbpedia.org/resource/Pompe_%C3%A0_diffusion +
, http://sr.dbpedia.org/resource/%D0%94%D0%B8%D1%84%D1%83%D0%B7%D0%B8%D1%98%D1%81%D0%BA%D0%B0_%D0%BF%D1%83%D0%BC%D0%BF%D0%B0 +
, http://sh.dbpedia.org/resource/Difuzijska_pumpa +
|
| rdfs:comment |
Uma bombas de difusão usa um jato de vapor … Uma bombas de difusão usa um jato de vapor de alta velocidade para direcionar moléculas de gás na garganta da bomba para baixo e para fora pelo exaustor. Apresentada em 1915 por Wolfgang Gaede e usando vapor de mercúrio, foi o primeiro tipo de bomba de alto vácuo operando no regime de , onde o movimento das moléculas do gás podem ser melhor entendidos como difusão que uma dinâmica de fluidos convencional. Gaede usou o nome bomba de difusão devido a seu projeto ser baseado na constatação de que o gás não pode difundir-se contra a corrente de vapor, mas o fará com ela para a exaustão. Entretanto, o princípio de operação pode ser mais precisamente descrito como bomba de jato de gás, dado que a difusão desempenha um papel também em outras bombas de alto vácuo. Em livros textos modernos, a bombo vácuo. Em livros textos modernos, a bomb
, Pompa dyfuzyjna - rodzaj pompy próżniowej, … Pompa dyfuzyjna - rodzaj pompy próżniowej, w której strumień czynnika pompującego (specjalnego oleju lub rtęci) wskutek m.in. zjawiska dyfuzji porywa ze sobą cząsteczki gazu przenosząc je z obszaru próżni wysokiej (z obszaru pompowanego) do obszaru próżni wstępnej.u pompowanego) do obszaru próżni wstępnej.
, 拡散ポンプ（かくさんポンプ、英語: diffusion pump）は、半導体製造・加 … 拡散ポンプ（かくさんポンプ、英語: diffusion pump）は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプである。主に油拡散ポンプが使われるが、用途によっては水銀拡散ポンプが使われることもある。DPと略されることもある。 下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オイル蒸気は、超音速に到達して分子を捕獲し10−3から10−7 Pa（10−5から10−9 Torr）程度の真空を作り出すことができる。また、コールドトラップ（液体窒素トラップが普通）を併用してチャンバー内の水分を除去しながら排気を行えば排気速度の向上につながる。 拡散オイルは循環させて使用し、使用状況にもよるが半年から数年に一度は交換が必要である。拡散オイルは少なすぎると焦げつくので、注入する量には注意が必要である。ヒ素などの有毒物質を使った場合、拡散オイルにそれらが蓄積しているため、交換後の拡散オイルは産業廃棄物として処理する。 背圧との両方に厳しい圧力制限があり、補助ポンプは必須である。排気側の背圧が高くなりを超えると、真空チャンバー側に拡散オイル蒸気が漏れ出すオイルバックを引き起こす。吸気側も、最大動作圧力を超えないよう先にチャンバーを大気圧から粗引きしておく必要がある。側も、最大動作圧力を超えないよう先にチャンバーを大気圧から粗引きしておく必要がある。
, Дифузі́йний насо́с (дифузі́йна по́мпа) або … Дифузі́йний насо́с (дифузі́йна по́мпа) або дифузі́йний ва́куумний насо́с (дифузі́йна ва́куумна по́мпа) (англ. diffusion pump) — пароструменевий високовакуумний насос, у якому захоплювання газу струменем відбувається за рахунок дифузії газу в струмінь пари робочої речовини (ртуть, вакуумна олива). робочої речовини (ртуть, вакуумна олива).
, Die Öldiffusionspumpe ist eine Hochvakuump … Die Öldiffusionspumpe ist eine Hochvakuumpumpe, die nach dem Prinzip einer Strahlpumpe funktioniert. Sie hat keine beweglichen Teile und ist daher sehr zuverlässig und wartungsfreundlich. Sie ist eine Weiterentwicklung der von Wolfgang Gaede 1916 vorgestellten Diffusionspumpe mit Quecksilber als Treibmittel.ionspumpe mit Quecksilber als Treibmittel.
, La pompa a diffusione è una pompa per alto … La pompa a diffusione è una pompa per alto vuoto priva di parti in movimento, essa è in grado di generare una pressione inferiore a 10-5 mbar, il suo funzionamento è basato sulla diffusione dei vapori di un olio a bassissima tensione di vapore (in genere ).La pompa è costituita da un recipiente inferiore (fornello), che contiene l'olio e il sistema di riscaldamento, dal quale si diparte un condotto verticale che termina con una serie di ugelli rivolti verso il basso; il tutto è contenuto in un recipiente collegato con la camera dove si deve fare il vuoto e con una pompa ausiliaria a medio vuoto (10-1 mbar).I vapori di olio salgono nel condotto e fuoriescono ad alta velocità dagli ugelli, trascinando le molecole di gas verso la zona del fornello, dove queste sono aspirate dalla pompa ausilive queste sono aspirate dalla pompa ausili
, Diffusion pumps use a high speed jet of va … Diffusion pumps use a high speed jet of vapor to direct gas molecules in the pump throat down into the bottom of the pump and out the exhaust. They were the first type of high vacuum pumps operating in the regime of free molecular flow, where the movement of the gas molecules can be better understood as diffusion than by conventional fluid dynamics. Invented in 1915 by Wolfgang Gaede, he named it a diffusion pump since his design was based on the finding that gas cannot diffuse against the vapor stream, but will be carried with it to the exhaust. However, the principle of operation might be more precisely described as gas-jet pump, since diffusion plays a role also in other high vacuum pumps. In modern textbooks, the diffusion pump is categorized as a momentum transfer pump.s categorized as a momentum transfer pump.
, Une pompe à diffusion est une pompe de tra … Une pompe à diffusion est une pompe de transfert cinétique à fluide moteur. Elle se compose d'un corps de pompe refroidi par une circulation d'eau à l'intérieur duquel sont placés des cônes formant des tuyères à leur partie supérieure. Le fluide moteur (généralement une huile de silicone) est situé dans la partie inférieure de l'appareil. Une résistance chauffante permet de vaporiser le fluide. La vapeur monte axialement et sort dans la partie supérieure des cônes sous forme de jets supersoniques dirigés vers le bas et dans lequel diffusent les gaz de l'enceinte à vide. En arrivant au contact des parois refroidies, les jets formés des gaz pompés et de la vapeur d'huile sont fractionnés : l'huile se condense et retombe dans la chaudière, alors que les gaz se trouvent à la partie inférieure es gaz se trouvent à la partie inférieure
|
| rdfs:label |
Pompa a diffusione
, Pompe à diffusion
, Bomba de difusão
, Diffusion pump
, Дифузійний насос
, Pompa dyfuzyjna
, 拡散ポンプ
, Öldiffusionspumpe
|
| rdfs:seeAlso |
http://dbpedia.org/resource/Polyphenyl_ether +
|
